[实用新型]一种全自动扩晶机有效

专利信息
申请号: 201822209754.4 申请日: 2018-12-26
公开(公告)号: CN209591986U 公开(公告)日: 2019-11-05
发明(设计)人: 王江 申请(专利权)人: 广东欧美亚智能装备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L33/00
代理公司: 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251 代理人: 刘汉民
地址: 523000 广东省东莞市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种全自动扩晶机,包括蓝膜上料机械手、撕纸装置、外圈上料装置、内圈上料装置、扩晶装置、下料机械手、控制系统,所述撕纸装置设于扩晶装置的前方,所述蓝膜上料机械手设于撕纸装置的上方,所述内圈上料装置、外圈上料装置设于扩晶装置的一侧,所述下料机械手设于扩晶装置的后方,所述蓝膜上料机械手、撕膜装置、外圈上料装置、内圈上料装置、扩晶装置、下料机械手均与控制系统电性连接。本实用新型中,通过蓝膜上料机械手、撕纸装置、外圈上料装置、内圈上料装置、扩晶装置、下料机械手与控制系统电性连接,可以实现自动撕防尘纸,蓝膜、外圈、内圈自动上料,自动扩膜、除废膜,成品自动下料,提高了生产效率,减少了人力成本,满足大批量生产。
搜索关键词: 上料装置 扩晶装置 蓝膜 内圈 上料机械手 下料机械手 撕纸装置 控制系统 电性连接 晶机 本实用新型 人力成本 生产效率 撕膜装置 自动上料 自动下料 防尘纸 废膜 生产
【主权项】:
1.一种全自动扩晶机,其特征在于:包括蓝膜上料机械手、撕纸装置、外圈上料装置、内圈上料装置、扩晶装置、下料机械手、控制系统,所述撕纸装置设于扩晶装置的前方,所述蓝膜上料机械手设于撕纸装置的上方,所述内圈上料装置、外圈上料装置设于扩晶装置的一侧,所述下料机械手设于扩晶装置的后方,所述蓝膜上料机械手、撕膜装置、外圈上料装置、内圈上料装置、扩晶装置、下料机械手均与控制系统电性连接;所述扩晶装置包括底板、压膜组件、扩晶盘、扩晶水平驱动模组、扩晶竖直驱动模组、压圈盘、压圈驱动件、熔膜环,所述压膜组件设于底板上方并向底板压合,所述底板的中心开设有扩晶口,所述扩晶盘设于扩晶口的下方,扩晶盘的顶端沿圆周边缘设有用于固定内圈的阶梯结构,扩晶盘内设有发热管,所述扩晶竖直驱动模组与扩晶盘驱动连接并驱动扩晶盘沿竖直移动,所述扩晶水平驱动模组与扩晶竖直驱动模组驱动连接并驱动扩晶竖直驱动模组沿水平移动,所述压圈盘设于扩晶口的上方,压圈盘的底面设有用于固定外圈的固定件,所述压圈驱动件与压圈盘驱动连接并驱动压圈盘沿竖直移动,所述熔膜环设于扩晶口的正下方,所述熔膜环内设有发热管,所述压圈盘的直径、熔膜环的内径均与外圈的外径相同,所述底板的一侧还设有夹膜机械手。
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