[实用新型]一种使用电子束焊接的溅射环组件有效
| 申请号： | 201822210424.7 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN209503217U | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 丁照崇;罗俊锋;李嘉;贺昕;李勇军;刘晓;侯玉飞;李玉鹏 | 申请（专利权）人： | 有研亿金新材料有限公司 |
| 主分类号： | B23K15/00 | 分类号： | B23K15/00 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 黄家俊 |
| 地址： | 102200*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了属于磁控溅射靶材领域的一种使用电子束焊接的溅射环组件；其中圆板通过螺栓组安装于工装卡具的圆柱安装面一侧外，圆柱安装面和圆板分别套装于溅射环体的两端内；圆柱状的固定组件焊接于溅射环体外侧的凹槽内；固定组件与凹槽的轴线共线，固定组件下方设有扁圆柱形的安装底座。工装卡具中的圆柱安装面和圆台依次位于基板的一侧外，基板、圆柱安装面和圆台轴线共线且一体构成；基板和圆台上相同的位置开有防溅槽；圆台的截面为等腰梯形。本实用新型防止了溅射环的焊接位置背面在焊接过程中因升温膨胀而与工装卡具紧紧卡在一起，拆卸困难而且损坏溅射环表面花纹；在不降低焊接效率的前提下，降低焊接风险，提高焊接质量。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 安装面 工装卡具 固定组件 基板 圆台 焊接 本实用新型 电子束焊接 环组件 环体 圆板 磁控溅射靶材 安装底座 扁圆柱形 表面花纹 等腰梯形 焊接过程 焊接位置 焊接效率 圆台轴线 轴线共线 防溅槽 螺栓组 圆柱状 共线 拆卸 背面 膨胀 | ||
【主权项】：
1.一种使用电子束焊接的溅射环组件，其特征在于，包括：溅射环体(100)、工装卡具(200)、固定组件(300)、圆板(400)和螺栓组(500)，其中圆板(400)通过螺栓组(500)安装于工装卡具(200)的圆柱安装面(201)一侧外，圆柱安装面(201)和圆板(400)分别套装于溅射环体(100)的两端内；圆柱状的固定组件(300)焊接于溅射环体(100)外侧的凹槽(101)内；固定组件(300)与凹槽(101)的轴线共线，固定组件(300)下方设有扁圆柱形的安装底座。
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