[实用新型]一种单轴宏微运动装置有效
申请号: | 201822212737.6 | 申请日: | 2018-12-26 |
公开(公告)号: | CN209167629U | 公开(公告)日: | 2019-07-26 |
发明(设计)人: | 钟耿君;高健;张揽宇;张金迪;梁俊朗;刘亚超;钟永彬;王晓亮;万宇 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00;G01N21/84;G01N21/01 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 510060 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单轴宏微运动装置,包括:台体,台体的中央设置有宏动基台,宏动基台上设置有随宏动基台移动的微动基台,宏动基台的中心线、第一动力部的中心线、第二动力部的中心线以及微动基台的中心线共线。其中,由于微动基台设置于宏动基台中央,两者为一体化平台,两者之间配合误差小,当通过第一动力部对宏动基台进行较大尺寸的调整时,微动基台与加工件也会一同运动,而第二动力部用于控制微动基台对加工件进行小尺寸的调整补偿,由于宏动基台、第一动力部、第二动力部以及微动基台的中心线共线,减少了位移传递过程中的误差积累,有效提高了单轴宏微运动装置在工作时的线性度。 | ||
搜索关键词: | 动基 动力部 基台 微动 微运动装置 单轴 中心线共线 加工件 台体 本实用新型 一体化平台 调整补偿 位移传递 误差积累 中央设置 台移动 线性度 配合 | ||
【主权项】:
1.一种单轴宏微运动装置,其特征在于,包括:台体(2),所述台体(2)的中央设置有宏动基台(3),所述宏动基台(3)下方与用于控制所述宏动基台(3)升降的第一动力部连接,所述宏动基台(3)上设置有随所述宏动基台(3)移动的微动基台(4),所述微动基台(4)与设置于所述宏动基台(3)上的、用于控制所述微动基台(4)升降的第二动力部连接,所述宏动基台(3)的中心线、所述第一动力部的中心线、所述第二动力部的中心线以及所述微动基台(4)的中心线共线。
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