[实用新型]一种扫描电镜下的超高温断裂原位观测装置

摘要

本实用新型公开了一种扫描电镜下的超高温断裂原位观测装置，包括微型机械加载系统和高温环境模块；其中，微型机械加载系统包括微型电机及传动装置基座，高温模块及传动模块基座，微型力传感器和短距高精度激光位移传感器，以及设置在微型电机及传动装置基座上的微型电机和传动装置；高温环境模块包括设置在高温模块及传动模块基座上的高温加载模块隔热外壳，高温加载模块隔热外壳内用于设置被测试样，且高温加载模块隔热外壳内还设置有用于对被测试样进行超高温加热的加热装置，高温模块及传动模块基座与微型电机及传动装置基座安装在一起，且微型机械加载系统中通过微型电机带动传动装置用于对高温加载模块隔热外壳中的被测试样进行拉伸。

主权项

1.一种扫描电镜下的超高温断裂原位观测装置，其特征在于，包括微型机械加载系统(1)和高温环境模块(2)；其中，微型机械加载系统(1)包括微型电机及传动装置基座(1‑1)，高温模块及传动模块基座(1‑10)，微型力传感器和短距高精度激光位移传感器，以及设置在微型电机及传动装置基座(1‑1)上的微型电机(1‑2)和传动装置，高温模块及传动模块基座(1‑10)与微型电机及传动装置基座(1‑1)在同一平面上安装在一起；高温环境模块(2)包括设置在高温模块及传动模块基座(1‑10)上的高温加载模块隔热外壳(2‑1)，高温加载模块隔热外壳(2‑1)内用于设置被测试样，且高温加载模块隔热外壳(2‑1)内还设置有用于对被测试样进行超高温加热的加热装置；使用状态时，微型机械加载系统(1)中的传动装置与被测试样相连，并通过微型电机(1‑2)带动传动装置用于对高温加载模块隔热外壳(2‑1)中的被测试样进行拉伸。