[实用新型]一种柔性薄膜太阳能电池用背电极

摘要

本实用新型公开一种柔性薄膜太阳能电池用背电极，包括柔性基底，柔性基底顶面由下至上依次层叠有合金膜层、ZnAl膜层、降阻金属膜层、防腐蚀膜层与Mo膜层；所述合金膜层为CuAl、CuZn、TiAl或TiCu薄膜；所述降阻金属膜层为Ti、Al、Ag或Cu膜层；所述防腐蚀膜层为MoN、MoO、Al₂O₃、TiN或TiON膜层；该背电极具有质量轻、可弯曲、便于携带、后期高温硒化不变形、抗腐蚀、低电阻率、薄膜应力小等优点，且与基底附着强度高，能够避免基底中Na⁺向吸收层的扩散且与CIGS有良好的欧姆接触。

主权项

1.一种柔性薄膜太阳能电池用背电极，其特征在于，包括柔性基底，柔性基底顶面由下至上依次层叠有合金膜层、ZnAl膜层、降阻金属膜层、防腐蚀膜层与Mo膜层；所述合金膜层为CuAl、CuZn、TiAl或TiCu薄膜；所述降阻金属膜层为Ti、Al、Ag或Cu膜层；所述防腐蚀膜层为MoN、MoO、Al₂O₃、TiN或TiON膜层；所述合金膜层的厚度为60～120nm、ZnAl膜层的厚度为40～80nm、降阻金属膜层的厚度为20～40nm、防腐蚀膜层的厚度为15～60nm、Mo膜层的厚度为55～75nm。