[实用新型]一种PE增强的多源二维材料制备设备

摘要

本实用新型公开了一种PE增强的多源二维材料制备设备，该制备设备包括控制区与反应区，反应区设置在控制区的上部，控制区包括控制台、射频发生器、真空获取泵、工控电脑，射频发生器与真空获取泵设置在控制台的一侧，工控电脑设置在控制台的中间区域，控制台的另一侧设有真空计；反应区包括：反应台、PE耦合源、加热反应器、固态源放置区、石英腔体，反应台固定设于控制台的顶部。本实用新型通过反向低温升华气体作为载体使固态源到基体上二次反应，从而很好的控制生长工艺，通过PE增强解决气源裂解温度在400度以内，通过另一面独立设计一个区域放置固态源并控制其升华温度不受反应区的影响。

主权项

1.一种PE增强的多源二维材料制备设备，包括控制区与反应区，反应区设置在控制区的上部，其特征在于，所述控制区包括控制台(21)、射频发生器(3)、真空获取泵(4)、工控电脑(7)，射频发生器(3)与真空获取泵(4)设置在控制台(21)的一侧，工控电脑(7)设置在控制台(21)的中间区域，控制台(21)的另一侧设有真空计(13)；所述反应区包括：反应台(22)、PE耦合源(2)、加热反应器(5)、固态源放置区(6)、石英腔体(8)，反应台(22)固定设于控制台(21)的顶部；法兰支撑座(14)的顶部设有真空密封法兰(1)，PE耦合源(2)、加热反应器(5)、固态源放置区(6)依次远离真空密封法兰(1)的一侧设置，PE耦合源(2)、加热反应器(5)固定设置在反应台(22)上；所述石英腔体(8)呈中空圆柱状，其一端与真空密封法兰(1)连接，穿过PE耦合源(2)、加热反应器(5)、固态源放置区(6)后的另一端连接有进气口(9)；所述固态源放置区(6)远离加热反应器(5)一侧的侧壁设有进气支撑台(16)，进气支撑台(16)的顶部设有进气支撑座(15)，进气支撑座(15)对进气口(9)进行支撑；进气口(9)的另一端通过压缩波纹管(10)连接有真空接口(11)，真空接口(11)的底部设有接口滑动座(17)。