[实用新型]旋转阴极磁棒有效
| 申请号： | 201822218023.6 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN209816264U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 王正安 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 11225 北京金信知识产权代理有限公司 | 代理人： | 喻嵘;郭迎侠 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种旋转阴极磁棒，包括轭铁，以及等距且相互平行设置在所述轭铁上的磁阵，所述磁阵包括磁极不同的第一磁体和第二磁体，其中，所述轭铁的两端部位置形成有包覆所述第一磁体和第二磁体的端部的磁靴，且所述第一磁体和所述第二磁体位于所述磁靴内的所述端部的磁场强度大于位于所述磁靴外的部分的磁场强度。本实用新型提供的旋转阴极磁棒使用磁靴改善磁棒端头位置的磁场分布，减弱传统磁棒结构造成刻蚀区域内的水平磁场强度，极大的减弱靶材端头位置的过度刻蚀现象，提高靶材利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 磁棒 磁靴 轭铁 本实用新型 端头位置 旋转阴极 磁阵 磁场 磁极 靶材利用率 磁场分布 过度刻蚀 刻蚀区域 平行设置 水平磁场 两端部 靶材 包覆 等距 | ||
【主权项】：
1.旋转阴极磁棒，包括轭铁，以及等距且相互平行设置在所述轭铁上的磁阵，所述磁阵包括磁极不同的第一磁体和第二磁体，其特征在于，所述轭铁的两端部位置形成有包覆所述第一磁体和第二磁体的端部的磁靴，且所述第一磁体和所述第二磁体位于所述磁靴内的所述端部的磁场强度大于位于所述磁靴外的部分的磁场强度。/n
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