[实用新型]一种真空蒸镀设备有效
| 申请号： | 201822221620.4 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN209702838U | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 陈晓;颜峰;廖良生;周让林;陈敏 | 申请（专利权）人： | 苏州方昇光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 32102 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人： | 范丹丹<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 215021 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了提供一种真空蒸镀设备，该真空蒸镀设备包括蒸镀室，设置在蒸镀室内的支撑组件，扣合在所述支撑组件上的防污盖板，安装在防污盖板下方的挡板组件，及与挡板组件相连接的驱动组件，所述防污盖板上设置有开口。所述挡板组件与所述开口相匹配，所述挡板组件包括能够翻转并相互闭合的第一挡板及第二挡板；所述驱动组件与所述第一挡板及第二挡板传动连接，所述驱动组件能够驱动所述第一挡板与第二挡板翻转闭合，遮挡所述开口。该装置提高了生产效率和精度，节约了成产成本；减少了蒸发源平面的空间，有利于在同一台设备上布置更多的蒸发源；且该装置在使用过程中可控制挡板的关闭与开启速度。 | ||
| 搜索关键词： | 挡板组件 第二挡板 第一挡板 驱动组件 盖板 防污 真空蒸镀设备 闭合 开口 支撑组件 翻转 蒸发源 本实用新型 可控制挡板 传动连接 生产效率 平面的 蒸镀室 蒸镀 遮挡 匹配 室内 驱动 节约 | ||
【主权项】：
1.一种真空蒸镀设备，其特征在于：包括蒸镀室，设置在蒸镀室内的支撑组件（10），扣合在所述支撑组件上的防污盖板（20），安装在防污盖板下方的挡板组件（30），及与挡板组件相连接的驱动组件（40），所述防污盖板上设置有开口（21）；所述挡板组件（30）与所述开口（21）相匹配，所述挡板组件（30）包括能够相互配合封闭所述开口的第一挡板（31）及第二挡板（32）；所述驱动组件（40）与所述第一挡板（31）及第二挡板（32）传动连接，所述驱动组件（40）能够驱动所述第一挡板（31）与第二挡板（32）翻转闭合，遮挡所述开口（21）。/n
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