[实用新型]一种硅片的定位输送装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片的定位输送装置，包括机架，所述机架顶部设置有传送链板，所述传送链板顶部设置有两条平行的X轴导轨，所述X轴导轨顶部通过电动滑块安装有两条平行的Y轴导轨，所述Y轴导轨顶部通过电动滑块安装有硅片定位板，所述硅片定位板顶部设置有若干定位吸盘，所述硅片定位板顶部中心位置设置有正位吸盘，所述正位吸盘底部连接有竖直升降柱，所述竖直升降柱底端安装有转位马达，所述转位马达固定设置在硅片定位板内。本实用新型能够使输送装置对硅片进行定位检测，并作出调整定位，保证硅片准确的进入加工工位，同时还能够对硅片进行清理分拣，防止不良硅片流入加工工位，降低加工损耗，提升生产效率。

主权项

1.一种硅片的定位输送装置，其特征在于：包括机架(1)，所述机架(1)顶部设置有传送链板(2)，所述传送链板(2)顶部设置有两条平行的X轴导轨(3)，所述X轴导轨(3)顶部通过电动滑块(4)安装有两条平行的Y轴导轨(5)，所述Y轴导轨(5)顶部通过电动滑块(4)安装有硅片定位板(6)，所述硅片定位板(6)顶部设置有若干定位吸盘(7)，所述硅片定位板(6)顶部中心位置设置有正位吸盘(8)，所述正位吸盘(8)底部连接有竖直升降柱(9)，所述竖直升降柱(9)底端安装有转位马达(10)，所述转位马达(10)固定设置在硅片定位板(6)内，所述硅片定位板(6)内设置有微型真空泵(11)，所述微型真空泵(11)与定位吸盘(7)和正位吸盘(8)相连，所述传送链板(2)上方设置有清理机构(12)，所述清理机构(12)包括氮气泵(13)和旋转喷气板(14)，所述旋转喷气板(14)底部设置有多个竖直向下的喷气头(15)，所述喷气头(15)和氮气泵(13)相连，所述氮气泵(13)设置在旋转喷气板(14)顶部，所述清理机构(12)右侧设置有监控定位机构(16)，所述监控定位机构(16)包括摄像器(17)和微处理器(18)，所述摄像器(17)竖直向下设置，所述微处理设置在摄像器(17)顶部，所述微处理器(18)与电动滑块(4)、微型真空泵(11)和转位马达(10)一一相连。