[实用新型]复合结构的微加热板有效
| 申请号： | 201822231805.3 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN209448911U | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 刘瑞 | 申请（专利权）人： | 苏州甫一电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/28 | 分类号： | H05B3/28;G01N27/00 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种复合结构的微加热板，包括第一衬底以及依次设置在第一衬底第一表面的第一绝缘层、隔热层、加热层、第二绝缘层和测试层，所述第一衬底的第二表面形成有空腔结构，所述第二表面与第一表面相背对设置。其中第一、第二衬底可以分别采用石英衬底、单晶硅衬底。本实用新型提供的复合结构的微加热板的结构简单、牢固，可靠性高，稳定性好，尤其是具有高效率的加热性能，同时其制备工艺简单易于操作，可以利用MEMS工艺快速实施，适于规模化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 复合结构 绝缘层 第二表面 第一表面 加热板 单晶硅 本实用新型 规模化生产 加热性能 依次设置 制备工艺 测试层 高效率 隔热层 加热层 腔结构 石英衬 相背 加热 | ||
【主权项】：
1.一种复合结构的微加热板，其特征在于包括第一衬底以及依次设置在第一衬底第一表面的第一绝缘层、隔热层、加热层、第二绝缘层和测试层，所述第一衬底的第二表面形成有空腔结构，所述第二表面与第一表面相背对设置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州甫一电子科技有限公司，未经苏州甫一电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201822231805.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种集成于房屋内的石墨烯发热板组件
- 下一篇：一种外卖箱保温垫
