[实用新型]一种跨尺度的薄膜应力测试系统有效
| 申请号： | 201822232244.9 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN209841249U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 刘胜;陈志文;杨凡;王晨阳;马坤 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L1/25 |
| 代理公司： | 42102 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人： | 唐万荣 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型设计了一种跨尺度的薄膜应力测试系统，包含宏观测量模块与微观测量模块，分别为宏观与微观测量薄膜应变的应力测量途径模块，且宏观测量模块与微观测量模块组成部件空间交错布置，彼此检测光路互不影响，用于跨尺度同时定位连续测量式样指定区域应力状态。宏观测量模块中，宏观测量模块中，激光器发射、标准具在入射光路方向上顺序排列，线阵CCD、偏振器、接收器于反射光线路上顺序排列，使激光能被接收。本实用新型测试系统具有操作简单，快捷，效率高，适用范围广泛的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 宏观测量 微观测量模块 本实用新型 跨尺度 薄膜应力测试 激光器发射 接收器 测试系统 反射光线 空间交错 连续测量 入射光路 微观测量 应力测量 应力状态 组成部件 线阵CCD 激光能 检测光 偏振器 薄膜 式样 宏观 | ||
【主权项】：
1.一种跨尺度的薄膜应力测试系统，其特征在于，包含宏观测量模块与微观测量模块，分别为宏观与微观测量薄膜应变的应力测量途径模块，且宏观测量模块与微观测量模块组成部件空间交错布置，彼此检测光路互不影响，用于跨尺度同时定位连续测量式样指定区域应力状态，宏观测量模块中，激光器发射、标准具在入射光路方向上顺序排列，线阵CCD、偏振器、接收器于反射光线路上顺序排列，使激光能被接收，微观测量模块中，发射器、主索勒狭缝、自动发散狭缝、射线罩依次排列在入射光路，使光线到达测角仪圆心轴伸出的样品盒，试样到探测器之间、衍射光路上依次排列狭缝-次索勒狭缝-防散射狭缝密封盒-单色器-探测器狭缝-探测器，使衍射光能被接收。/n
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