[实用新型]一种钙钛矿太阳能电池生产的在线监测设备

摘要

本实用新型涉及一种钙钛矿太阳能电池生产的在线监测设备，包括颜色分析装置，和/或温度测试装置，以及数据处理反馈系统，颜色分析装置包括颜色探测头，温度测试装置包括测温探头。钙钛矿太阳能电池基片放置在真空密封舱内进行蒸镀加工生产，密封舱内设置有被蒸发控制系统控制的蒸发源，颜色探测头和测温探头分别对准钙钛矿太阳能电池基片表面或背面区域，数据处理反馈系统的分析数据反馈至蒸发控制系统。本实用新型通过监测钙钛矿薄膜生产过程中的各类性能参数，控制其反应进程，提高各批次钙钛矿薄膜生产的重复性。

主权项

1.一种钙钛矿太阳能电池生产的在线监测设备，其特征在于，包括用于分析钙钛矿太阳能电池基片表面或背面颜色的颜色分析装置，和/或用于钙钛矿太阳能电池基片表面或背面温度测量的温度测试装置，以及数据处理反馈系统，所述颜色分析装置包括颜色探测头和颜色信号处理器，所述颜色探测头测量的颜色数据通过颜色信号处理器处理后传输至数据处理反馈系统，所述温度测试装置包括测温探头和温度信号处理器，所述测温探头测量的温度数据通过温度信号处理器处理后传输至数据处理反馈系统，所述钙钛矿太阳能电池基片放置在真空密封舱内进行蒸镀加工生产，在所述真空密封舱内设置有加热钙钛矿太阳能电池基片的加热装置，及被蒸发控制系统控制的蒸发源，所述颜色探测头和测温探头分别对准钙钛矿太阳能电池基片表面或背面区域，所述数据处理反馈系统的分析数据反馈至蒸发控制系统。