[实用新型]一种单光纤共振扫描器件有效
申请号: | 201822238336.8 | 申请日: | 2018-12-28 |
公开(公告)号: | CN209842234U | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 杭州菲柏斯科技有限公司 |
主分类号: | G02B26/10 | 分类号: | G02B26/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310018 浙江省杭州市经济技术开发*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种单光纤共振扫描器件,该扫描器由压电陶瓷棒(1),光传导纤芯(2),填充的导电浆料(3),及外层金属电极(4‑1),(4‑2),(4‑3),(4‑4)构成。该装置通过将光纤与微纳工艺制备的压电陶瓷棒集成,通过给外部金属电极加载需要的电信号,可以造成压电薄膜棒的周期性形变,从而实现光纤的振动。该装置通过集成实现了单光纤振动扫描功能,有效降低了振动扫描系统核心元件的尺寸,有利于超精细微纳扫描系统中的应用。 | ||
搜索关键词: | 压电陶瓷棒 振动扫描 单光纤 光纤 外层金属电极 周期性形变 导电浆料 工艺制备 金属电极 扫描器件 扫描系统 系统核心 压电薄膜 光传导 扫描器 共振 加载 纤芯 填充 外部 应用 | ||
【主权项】:
1.一种单光纤共振扫描器件,其特征在于包含了压电陶瓷棒(1),光传导纤芯(2),填充的导电浆料(3),及外层金属电极(4-1),(4-2),(4-3),(4-4),光传导纤芯(2)穿过压电陶瓷棒(1)中心半径为R的圆孔并用导电浆料(3)填充固定,外层金属电极(4-1),(4-2),(4-3),(4-4)分布在压电陶瓷棒(1)的四个侧面并互相绝缘。/n
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