[实用新型]一种固晶机的加工平台有效
申请号: | 201822239792.4 | 申请日: | 2018-12-28 |
公开(公告)号: | CN209249433U | 公开(公告)日: | 2019-08-13 |
发明(设计)人: | 胡溢文 | 申请(专利权)人: | 苏州工业园区客临和鑫电器有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683 |
代理公司: | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人: | 朱斌兵 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种固晶机的加工平台,包括可滑动设置在固晶机上的基板以及顶升气缸、电磁铁、承载铁板、辅助支撑组件、旋转气缸和旋转板;所述基板上设有多个顶升气缸,顶升气缸的上端设有电磁铁,电磁铁的上端与承载铁板相连;所述承载铁板与基板之间还设有辅助支撑组件;所述承载铁板的中部设有旋转气缸,旋转气缸上设有可转动的旋转板,旋转板的上表面个真空吸附孔,本实用新型的的固晶机的加工平台,其结构简单,操作方便,不但能满足160mm长度产品的作业,也能能够满足产品长度在160mm‑300mm长产品的作业,降低了设备的投入成本,加工效率高,满足了企业的生产加工需求。 | ||
搜索关键词: | 铁板 电磁铁 顶升气缸 加工平台 旋转气缸 固晶机 旋转板 承载 基板 辅助支撑组件 本实用新型 上端 真空吸附孔 加工效率 生产加工 长产品 可滑动 可转动 上表面 固晶 | ||
【主权项】:
1.一种固晶机的加工平台,其特征在于:包括可滑动设置在固晶机上的基板以及顶升气缸、电磁铁、承载铁板、辅助支撑组件、旋转气缸和旋转板;所述基板上设有多个顶升气缸,顶升气缸的上端设有电磁铁,电磁铁的上端与承载铁板相连;所述承载铁板与基板之间还设有辅助支撑组件;所述承载铁板的中部设有旋转气缸,旋转气缸上设有可转动的旋转板,旋转板的上表面个真空吸附孔。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造