[实用新型]转台设备有效
申请号: | 201822240595.4 | 申请日: | 2018-12-28 |
公开(公告)号: | CN209183518U | 公开(公告)日: | 2019-07-30 |
发明(设计)人: | 荆涛 | 申请(专利权)人: | 东旭(营口)光电显示有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 王伟锋;刘铁生 |
地址: | 115003 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种转台设备,涉及玻璃基板制造技术领域,用于调节A型架的设置角度,提高生产效率。本实用新型的主要技术方案为:一种转台设备,包括:底座和转盘,所述转盘转动连接于所述底座,所述转盘上具有支撑面,所述支撑面上设有升降机构,使所述升降机构的支撑端相对于所述支撑面进行升降。 | ||
搜索关键词: | 转台设备 本实用新型 升降机构 支撑面 转盘 底座 玻璃基板 生产效率 转盘转动 支撑 升降 制造 | ||
【主权项】:
1.一种转台设备,其特征在于,包括:底座和转盘,所述转盘转动连接于所述底座,所述转盘上具有支撑面,所述支撑面上设有升降机构,使所述升降机构的支撑端相对于所述支撑面进行升降。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造