[实用新型]一种高精度可视化纳米探针有效
| 申请号： | 201822241874.2 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN210136249U | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 王晟;吕兆霞 | 申请（专利权）人： | 鸣纳（上海）信息科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 吕琳琳 |
| 地址： | 201614 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种高精度可视化纳米探针，包括针尖基座、悬臂、悬臂基座和芯片，悬臂的一端开设有二氧化硅薄膜窗口，针尖基座连接二氧化硅薄膜窗口，针尖基座尖端设置有针尖，悬臂的另一端连接悬臂基座；悬臂基座上设有定位槽，准直芯片上设有卡槽，悬臂基座和准直芯片通过定位槽与卡槽的卡接连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 可视化 纳米 探针 | ||
【主权项】：
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