[实用新型]桥式热膜结构微加热器与电子鼻阵列

摘要

本实用新型公开了一种桥式热膜结构微加热器与电子鼻阵列,所述桥式热膜结构微加热器包括：在硅基底表面形成的绝热层；在绝热层表面形成的绝缘层Ⅰ；在绝缘层Ⅰ表面形成的电极柱子；在电极柱子之间形成空腔及悬空加热结构；加热结构由空腔往上依次为支撑层，绝缘层，台阶结构层，加热层及钝化层；绝缘层覆盖在支撑层上；台阶结构层位于所述绝缘层上；加热层覆盖在含所述支撑层，绝缘层、台阶结构层的复合结构上、并覆盖电极柱子的上表面；钝化层覆盖所述加热层；连接电极位于含有所述绝热层的硅基底表面，并与电极柱子连接；绝缘层Ⅰ、电极柱子、支撑层共同形成悬空加热器结构的空腔。

主权项

1.桥式热膜结构微加热器，其特征在于，所述桥式热膜结构微加热器包括：在硅基底(1)上表面形成的绝热层(2)、绝缘层Ⅰ(3)；在绝缘层Ⅰ(3)表面形成的电极柱子(4)；在电极柱子之间形成空腔(12)及悬空加热结构；加热结构由下到上依次为支撑层(6)、绝缘层Ⅱ(7)、台阶结构层(8)、加热层(9)及钝化层(10)；其中，绝缘层Ⅱ(7)覆盖支撑层(6)；台阶结构层(8)位于在绝缘层Ⅱ(7)正上方区域内；加热层(9)覆盖在含所述支撑层(6)，绝缘层Ⅱ(7)、台阶结构层(8)的复合结构上、并覆盖电极柱子(4)的上表面；钝化层(10)覆盖所述加热层(9)；连接电极(11)位于含有所述绝缘层Ⅰ(3)的硅基底(1)上表面，并与电极柱子(4)连接；绝缘层Ⅰ(3)、电极柱子(4)、支撑层(6)共同形成桥式热膜结构微加热器的空腔(12)，使加热器形成悬空结构。