[实用新型]一种喷嘴自动清洗装置有效
| 申请号： | 201822257963.6 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN209631478U | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 刘青;俞韶兵 | 申请（专利权）人： | 精典电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B05B15/50 | 分类号： | B05B15/50 |
| 代理公司： | 31287 上海容慧专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 于晓菁<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 200131上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种喷嘴自动清洗装置，包括清洗管路、吹气管路、移动装置以及控制系统，所述清洗管路包括清洗管路本体、设置于所述清洗管路本体上的第一电磁阀、设置于清洗管路本体末端的清洗喷嘴，所述吹气管路包括吹气管路本体、设置于所述吹气管路本体上的第二电磁阀、设置于吹气管路本体末端的吹气喷嘴，所述移动装置包括横向支架，所述清洗喷嘴和所述吹气喷嘴均设置于所述横向支架上，所述控制系统同所述第一电磁阀和第二电磁阀控制连接。该清洗装置可提高喷嘴的洁净度，避免由于喷嘴被污染导致后续工艺上的缺陷，提高了晶圆片上的芯片的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 吹气管路 清洗管路 喷嘴 第一电磁阀 吹气喷嘴 横向支架 控制系统 清洗喷嘴 移动装置 自动清洗装置 电磁阀控制 后续工艺 清洗装置 电磁阀 洁净度 晶圆片 良品率 芯片 污染 | ||
【主权项】：
1.一种喷嘴自动清洗装置，包括清洗管路、吹气管路、移动装置以及控制系统，其特征在于：所述清洗管路包括清洗管路本体、设置于所述清洗管路本体上的第一电磁阀、设置于清洗管路本体末端的清洗喷嘴，所述吹气管路包括吹气管路本体、设置于所述吹气管路本体上的第二电磁阀、设置于吹气管路本体末端的吹气喷嘴，所述移动装置包括横向支架，所述清洗喷嘴和所述吹气喷嘴均通过固定支架设置于所述横向支架上，所述控制系统同所述第一电磁阀和第二电磁阀控制连接。/n
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