[实用新型]无张力磁控溅射镀膜室及织物镀膜装置有效
| 申请号： | 201822259912.7 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN209906874U | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 余荣沾;王忠雨;刘琼溪;张欣;石慧 | 申请（专利权）人： | 广东欣丰科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘会景;刘芳 |
| 地址： | 529000 广东省江门*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种无张力磁控溅射镀膜室及织物镀膜装置。该无张力磁控溅射镀膜室，包括真空腔体，真空腔体中设有镀膜辊和水平隔板；水平隔板将真空腔体分成传送室和溅射室；传送室中设有多个第一导辊；溅射室中设有多个溅射源，多个溅射源沿镀膜辊周向设置，相邻的溅射源之间设有一组第二导辊；第二导辊与镀膜辊之间具有供织物通过的间隙，且每组第二导辊中，相邻的第二导辊之间具有供织物通过的间隙；驱动设备驱动镀膜辊、第一导辊和第二导辊转动，以将织物由织物入口运送至织物出口。本实用新型提供的无张力磁控溅射镀膜室，能够增大织物与导辊之间的接触面积以及摩擦力，避免织物在导辊的拉扯下发生变形，提高着色质量。 | ||
| 搜索关键词： | 导辊 镀膜辊 磁控溅射镀膜 真空腔体 溅射源 本实用新型 水平隔板 传送室 溅射室 镀膜装置 驱动设备 织物出口 织物入口 周向设置 拉扯 着色 转动 变形 运送 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种无张力磁控溅射镀膜室，其特征在于，包括真空腔体，所述真空腔体相对的两侧壁上分别设有织物入口和织物出口；所述真空腔体中设有镀膜辊和水平隔板；/n所述水平隔板的一端与所述真空腔体的内壁固定连接，另一端与所述镀膜辊之间形成有供织物通过的间隙；所述水平隔板将所述真空腔体分成上方的传送室和下方的溅射室；/n所述传送室中设有多个第一导辊；所述溅射室中设有多个溅射源，多个所述溅射源沿所述镀膜辊周向设置，相邻的溅射源之间设有一组第二导辊；所述第二导辊与所述镀膜辊之间具有供织物通过的间隙；每组所述第二导辊中，相邻的第二导辊之间具有供织物通过的间隙；/n所述镀膜辊、第一导辊和第二导辊均与驱动设备相连；所述驱动设备驱动所述镀膜辊、所述第一导辊和所述第二导辊转动，以将所述织物由所述织物入口运送至所述织物出口。/n
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