[实用新型]一种压着偏移粒子检测装置有效
申请号: | 201822264321.9 | 申请日: | 2018-12-31 |
公开(公告)号: | CN209964540U | 公开(公告)日: | 2020-01-17 |
发明(设计)人: | 刘宏星 | 申请(专利权)人: | 深圳市华亚信科技有限公司 |
主分类号: | H05K13/04 | 分类号: | H05K13/04;H05K13/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种压着偏移粒子检测装置,包括模板移动组件和偏移检测组件;模板移动组件包括放置模板的支撑底座;模板的支撑底座设置在三轴系的移动模块上;移动模块包括X轴轨道、Y轴轨道和Z轴轨道;X轴轨道上设置X轴移动底板;Y轴轨道则设置于X轴移动底板上;X轴移动底板由X轴电机驱动其沿着X轴轨道移动;Y轴轨道上配合Y轴移动底板;在Y轴移动板上设置Z轴轨道;Z轴轨道上设置Z轴移动板;Z轴移动板上安装支撑底座;偏移检测组件设置于模板移动组件的对面;偏移检测组件包括滑轨、直角连接板、摄像头;滑轨平行于X轴轨道;直角连接板配合于滑轨上;直角连接板上安装摄像头;像头沿着滑轨作平行于模板的运动。 | ||
搜索关键词: | 底板 滑轨 直角连接板 模板移动 偏移检测 摄像头 移动模块 支撑底座 组件包括 平行 安装支撑底座 粒子检测装置 本实用新型 组件设置 偏移 三轴 压着 配合 驱动 移动 | ||
【主权项】:
1.一种压着偏移粒子检测装置,其特征在于:包括设置在底座上的:模板移动组件和偏移检测组件;所述模板移动组件至少包括一个放置模板的支撑底座;所述模板的支撑底座设置在一个三轴系的移动模块上;所述移动模块包括X轴轨道、Y轴轨道和Z轴轨道;所述X轴轨道上设置X轴移动底板;所述Y轴轨道则设置于X轴移动底板上;所述X轴移动底板由X轴电机驱动其沿着X轴轨道移动;所述Y轴轨道上配合Y轴移动底板;所述Y轴移动底板由Y轴电机驱动的第一丝杆来传动;在所述Y轴移动板上设置Z轴轨道;Z轴轨道上设置Z轴移动板;Z轴移动板由Z轴电机驱动的第二丝杆来传动;所述Z轴移动板上安装所述支撑底座;所述偏移检测组件设置于模板移动组件的对面;所述偏移检测组件包括滑轨、直角连接板、摄像头;所述滑轨平行于X轴轨道;所述直角连接板配合于所述滑轨上;所述直角连接板上安装所述摄像头;所述摄像头沿着滑轨作平行于模板的运动。/n
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