[实用新型]机械手臂及具有其的机械手和抛光设备有效
| 申请号： | 201822267240.4 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN209551724U | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 曾文昌;刘林艳;杨凯 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J19/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 赵天月 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种机械手臂及具有其的机械手和抛光设备。其中，所述机械手臂包括：机械手臂本体，所述机械手臂本体内设有沿其长度方向贯穿的真空气流通道；开孔，所述开孔沿所述机械手臂本体的高度方向贯穿且与所述真空气流通道连通；陶瓷片，所述陶瓷片可拆卸地设在所述开孔上，并且陶瓷片上设有多个贯穿通孔。采用该机械手臂可以有效避免清洗后抛光盘搬运和翻转过程中机械手臂上喷淋液的残留，从而在避免残液污染其他装置的同时提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手臂 机械手臂本体 陶瓷片 开孔 机械手 抛光设备 真空气流 贯穿 本实用新型 产品良率 其他装置 通道连通 可拆卸 抛光盘 翻转 残液 淋液 上喷 通孔 搬运 清洗 残留 污染 | ||
【主权项】：
1.一种机械手臂，其特征在于，包括：机械手臂本体，所述机械手臂本体内设有沿其长度方向贯穿的真空气流通道；开孔，所述开孔沿所述机械手臂本体的高度方向贯穿且与所述真空气流通道连通；陶瓷片，所述陶瓷片可拆卸地设在所述开孔上，并且陶瓷片上设有多个贯穿通孔。
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