[实用新型]一种悬臂梁式纸基传感器有效
| 申请号： | 201822267593.4 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN209181802U | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 翟荣安;马海波;刘新宇;汝长海;孙钰 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/16 | 分类号： | G01D5/16;G01L1/22;G01P15/12 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 查杰 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市相城*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种悬臂梁式纸基传感器，其特征在于，包括感应部、信号转换部和信号输出部，感应部包括纸基和碳膜，纸基包括一体成型的载体和悬臂梁，碳膜设置在悬臂梁表面与载体连接的一端，信号转换部设置在载体上，信号转换部包括电路导线和电子元器件，电路导线与电子元器件组成连接碳膜的信号转换电路，信号输出部包括输出导线，信号转换电路通过输出导线与外部测量仪器连接，通过悬臂梁式的设计放大纸基的变形，提高纸基传感器的灵敏度，且不会对载体造成影响，使得信号转换电路能够设置在载体上，提高纸基传感器的集成度。 | ||
| 搜索关键词： | 纸基传感器 信号转换电路 信号转换部 悬臂梁式 碳膜 电子元器件 信号输出部 电路导线 输出导线 感应部 悬臂梁 纸基 外部测量仪器 本实用新型 一体成型的 载体连接 集成度 灵敏度 变形 | ||
【主权项】：
1.一种悬臂梁式纸基传感器，其特征在于，包括感应部、信号转换部和信号输出部，所述感应部包括纸基和碳膜，所述纸基包括一体成型的载体和悬臂梁，所述碳膜设置在所述悬臂梁与所述载体的连接处，所述信号转换部设置在所述载体上，所述信号转换部包括电路导线和电子元器件，所述电路导线与电子元器件组成连接所述碳膜的信号转换电路，所述信号输出部包括输出导线，所述信号转换电路通过所述输出导线与外部测量仪器连接。
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