[实用新型]一种PVD靶材搬运车有效
| 申请号： | 201822267838.3 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN209554086U | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 胥一鑫;徐义 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G7/04 | 分类号： | B65G7/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PVD靶材搬运车，包括托盘、支撑杆、底架和旋转装置，其中，托盘可转动的设置在支撑杆上，旋转装置分别与支撑杆和托盘设置到一起，用于驱动托盘在支撑杆上旋转，支撑杆设置在底架上；托盘上设有容纳靶材的凹槽，凹槽一端设有第一托扣；底架上设置有移动装置。使用时，托盘水平放置，首先将靶材拆箱，将靶材抬至托盘上的凹槽中，安装靶材顶部端头，通过移动装置移动将靶材运输至待更换立式PVD靶材的设备处，然后摇动旋转装置，托盘从水平旋转为垂直状态，将靶材旋转至垂直位置，第一托扣托住靶材，然后通过行车吊住靶材顶部，通过行车将靶材安装至机台端。提高了安全性，节省了人力成本。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 托盘 支撑杆 旋转装置 底架 移动装置 搬运车 托扣 行车 本实用新型 机台 垂直状态 人力成本 水平旋转 托盘水平 可转动 设备处 拆箱 端头 托住 摇动 驱动 容纳 移动 运输 | ||
【主权项】：
1.一种PVD靶材搬运车，其特征在于，包括托盘、支撑杆、底架和旋转装置，其中，所述托盘可转动的设置在所述支撑杆上，所述旋转装置分别与所述支撑杆和所述托盘设置到一起，用于驱动所述托盘在所述支撑杆上旋转，所述支撑杆设置在所述底架上；所述托盘上设有容纳靶材的凹槽，所述凹槽一端设有第一托扣；所述底架上设置有移动装置。
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