[实用新型]电池材料镀膜设备有效
| 申请号： | 201822268448.8 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN209741259U | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 李致朋;区定容 | 申请（专利权）人： | 深圳市致远动力科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 44287 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 | 代理人： | 胡海国<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区西*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种电池材料镀膜设备，该电池材料镀膜设备包括外壳、靶材置放装置、样品台、挡板和驱动装置。靶材置放装置设置于所述外壳内，用以置放电池材料；样品台设置于所述外壳内；挡板位于所述样品台与靶材置放装置之间，所述挡板上设置有在上下向将所述挡板贯穿的通槽；驱动装置包括动力源和传动装置，所述动力源通过所述传动装置连接所述挡板，以驱动所述挡板平行于所述样品台移动。本实用新型的技术方案可以把两种电池材料有效的沉积在一起，得到两种材料从低到高不同成分配比的变化，电池材料中间体的制备效率大大提升。 | ||
| 搜索关键词： | 挡板 电池材料 置放装置 样品台 靶材 本实用新型 传动装置 镀膜设备 驱动装置 动力源 样品台移动 成分配比 沉积 通槽 置放 制备 平行 驱动 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种电池材料镀膜设备，其特征在于，包括：/n外壳；/n靶材置放装置，设置于所述外壳内，用以置放电池材料；/n样品台，设置于所述外壳内；/n挡板，位于所述样品台与所述靶材置放装置之间，所述挡板设置有在上下向将所述挡板贯穿的通槽；/n驱动装置，包括动力源和传动装置，所述动力源通过所述传动装置连接所述挡板，以驱动所述挡板平行于所述样品台移动。/n
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