[实用新型]组合磁场与内衬偏压多孔挡板的复合型过滤装置有效
| 申请号： | 201822274556.6 | 申请日： | 2018-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214115704U | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 魏永强;王好平;刘源;张华阳;侯军兴;蒋志强 | 申请（专利权）人： | 魏永强 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 450015 河南省郑州市二七*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： |
组合磁场与内衬偏压多孔挡板的复合型过滤装置，属于表面技术领域，本发明为解决多级磁场过滤装置中大颗粒对薄膜的污染和等离子体传输过程中的损失问题。本发明的装置包括：偏压电源、电弧离子镀靶源及电源、多级磁场装置及电源、内衬偏压多孔型挡板装置及偏压电源、活动线圈装置及电源、样品台、偏压电源波形示波器和真空室；薄膜沉积：连接装置，启动系统，待真空室内的真空度小于10 |
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| 搜索关键词： | 组合 磁场 内衬 偏压 多孔 挡板 复合型 过滤 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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