[实用新型]组合磁场和内衬偏压异形管与多孔挡板复合的过滤装置有效
| 申请号： | 201822274559.X | 申请日： | 2018-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214115706U | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 魏永强;王好平;宗晓亚;刘学申;张新国;蒋志强 | 申请（专利权）人： | 魏永强 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 450015 河南省郑州市二七*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： |
组合磁场和内衬偏压异形管与多孔挡板复合的过滤装置，属于真空镀膜技术领域，本发明为解决多级磁场过滤装置中大颗粒对薄膜的污染和等离子体传输过程中的损失问题。本发明的装置包括：偏压电源、电弧离子镀靶源、多级磁场装置、内衬偏压锥形管、阶梯管与多孔挡板组合装置、活动线圈装置及相应的电源、偏压电源波形示波器等装置；薄膜沉积：装置连接，系统启动，待真空室内的真空度小于10 |
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| 搜索关键词： | 组合 磁场 内衬 偏压 异形 多孔 挡板 复合 过滤 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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