[实用新型]一种复合硅基波导结构有效
| 申请号： | 201822275964.3 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN209606656U | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 刘敬伟;李文玲;田立飞;张新群 | 申请（专利权）人： | 国科光芯（海宁）科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/14;G02B6/132;G02B6/136 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 朱静谦 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的一种复合硅基波导结构，包括：弱束缚波导，包括第一芯层，所述第一芯层与弱束缚波导的模场直径匹配；强束缚波导，包括第二芯层以及覆盖所述第二芯层的顶部及侧壁的所述第三芯层；模斑转换结构，包括相连的、分别与所述弱束缚波导和所述强束缚波导连通的弱束缚部和强束缚部；所述弱束缚部和所述强束缚部分别为与所述弱束缚波导和所述强束缚波导一致的波导结构。 | ||
| 搜索关键词： | 束缚 波导 芯层 复合硅 基波导 模斑转换结构 模场直径匹配 本实用新型 波导结构 侧壁 连通 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种复合硅基波导结构，其特征在于，包括：弱束缚波导，包括第一芯层(1)，所述第一芯层(1)与弱束缚波导的模场直径匹配；强束缚波导，包括第二芯层(2)以及覆盖所述第二芯层(2)的顶部及侧壁的第三芯层(3)；模斑转换结构，包括相连的、分别与所述弱束缚波导和所述强束缚波导连通的弱束缚部和强束缚部；所述弱束缚部和所述强束缚部分别为与所述弱束缚波导和所述强束缚波导一致的波导结构。
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