[实用新型]一种PH3/H2在线混合系统有效
| 申请号： | 201822277220.5 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN209406081U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 胡毅志 | 申请（专利权）人： | 上海正帆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01F3/02 | 分类号： | B01F3/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201108 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种PH3/H2在线混合系统，主要包括PH3供应装置、H2供应装置、混气管道、混气缓冲储存装置和He吹制扫装置，He吹制扫装置与PH3供应装置相连接，PH3供应装置的末端和H2供应装置的末端连接至混气管道的一端，混气管道的另一端与混气缓冲储存装置相连接，本实用新型设计的PH3/H2在线混合系统，PH3供应装置、H2供应装置供气混合后，通过混气管道进行输送，并在混气缓冲储存装置中积聚，从而做到了PH3/H2混气随取随用，简化混气的采购程序，缩短混合气采购周期，降低混合气采购成本、物流成本，此外，混气能够现场充装，易操作，保证系统稳定性，还可根据生产工艺要求进行PH3/H2混气比例值设定。 | ||
| 搜索关键词： | 供应装置 混气 混气管道 缓冲储存装置 在线混合系统 本实用新型 混合气 扫装置 吹制 采购 生产工艺要求 保证系统 末端连接 物流成本 充装 供气 积聚 | ||
【主权项】：
1.一种PH3/H2在线混合系统，其特征在于，包括PH3供应装置、H2供应装置、混气管道、混气缓冲储存装置和He吹制扫装置，所述He吹制扫装置与PH3供应装置相连接，所述PH3供应装置的末端和H2供应装置的末端连接至混气管道的一端，所述混气管道的另一端与混气缓冲储存装置相连接。
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