[外观设计]基板处理装置用气体供给喷管有效
| 申请号： | 201830202247.0 | 申请日： | 2018-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN304839985S | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 冈嶋优作;加贺谷彻;平松宏朗;江端慎也 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立国际电气 |
| 主分类号： | 23-01 | 分类号： | 23-01 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;刘伟志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 1．本外观设计产品的名称：基板处理装置用气体供给喷管。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品是使用于对在反应管内部沿垂直方向多级保持的基板进行处理的基板处理装置的气体供给喷管。3．本外观设计产品的设计要点：在于产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。 | ||
| 搜索关键词： | 外观设计 基板处理装置 喷管 气体供给 反应管 基板 图片 | ||
【主权项】：
暂无信息
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