[外观设计]搬运机器人(高精度晶圆)有效
申请号: | 201830214159.2 | 申请日: | 2018-05-11 |
公开(公告)号: | CN305010537S | 公开(公告)日: | 2019-01-22 |
发明(设计)人: | 何瑞;刘丹;郭梅;吕兵;刘波;张延 | 申请(专利权)人: | 昀智科技(北京)有限责任公司 |
主分类号: | 15-99 | 分类号: | 15-99 |
代理公司: | 北京欣永瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 11450 | 代理人: | 张庆敏 |
地址: | 102300 北京市门头沟区石*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 1.本外观设计产品的名称:搬运机器人(高精度晶圆)。2.本外观设计产品的用途:本外观设计产品用于半导体晶圆自动化加工产线上,是全自动、智能化高精度快速拾取和转运半导体硅晶圆的核心设备。3.本外观设计产品的设计要点:形状。4.最能表明本外观设计设计要点的图片或照片:立体图。 | ||
搜索关键词: | 外观设计 晶圆 搬运机器人 半导体晶圆 自动化加工 半导体硅 核心设备 智能化 产线 拾取 转运 图片 | ||
【主权项】:
暂无信息
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