[外观设计]基片托盘有效
| 申请号： | 201830461274.X | 申请日： | 2018-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN305003993S | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 郭世平;姜勇;陈耀;胡建正 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | 15-09 | 分类号： | 15-09 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 张静洁;徐雯琼 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 1．本外观设计产品的名称：基片托盘。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于承载待加工基片，并与旋转轴配合驱动托盘上的基片旋转。3．本外观设计的设计要点：产品的形状。4．最能表明设计要点的图片或者照片：俯视图。 | ||
| 搜索关键词： | 外观设计 基片托盘 托盘 俯视图 旋转轴 承载 驱动 加工 配合 图片 | ||
【主权项】：
暂无信息
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