[外观设计]搬送基板用保持垫有效
| 申请号： | 201830581243.8 | 申请日： | 2018-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN305208814S | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 时松彻;寺本聪宽 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | 09-99 | 分类号： | 09-99 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;邸万杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 1．本外观设计产品的名称：搬送基板用保持垫。2．本外观设计产品的用途：本产品是在半导体制造装置中配置于搬送基板的搬送臂上用于保持基板的保持垫。3．本外观设计产品的设计要点：本外观设计的设计要点在于产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图1。 | ||
| 搜索关键词： | 外观设计 基板 半导体制造装置 搬送臂 配置 图片 | ||
【主权项】：
暂无信息
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