[发明专利]钛酸铜钙薄膜的制备方法和钛酸铜钙薄膜

摘要

本申请提供一种钛酸铜钙薄膜的制备方法和钛酸铜钙薄膜，钛酸铜钙薄膜具有优异的台阶覆盖性、膜厚均匀性和薄膜连续性，尤其适用于高深宽比结构。该钛酸铜钙薄膜的制备方法包括：在衬底上形成层状沉积结构，所述层状沉积结构包括至少一个二氧化钛层、至少一个氧化铜层和至少一个氧化钙或碳酸钙层；将所述层状沉积结构置于含氧气氛中进行高温退火处理，得到钛酸铜钙薄膜。