[发明专利]金属三胺化合物、用于制备其方法及包含其的用于沉积含金属薄膜的组合物有效
| 申请号： | 201880001773.8 | 申请日： | 2018-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN109153692B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 金铭云;李相益;任相俊;蔡元默;朴正铉;李刚镛;曹儿罗;朴重进;林幸墩 | 申请（专利权）人： | DNF有限公司 |
| 主分类号： | C07F7/28 | 分类号： | C07F7/28;C07F7/00;C07F11/00;C07F9/00;C23C16/40;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 顾晋伟;郑毅 |
| 地址： | 韩国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了新的金属三胺化合物、用于制备其的方法、包含其的用于沉积含金属薄膜的组合物以及用于使用其制备含金属薄膜的方法。本发明的金属三胺化合物具有优异的反应性，是热稳定的，具有高挥发性，并且具有高储存稳定性，因此，其可以用作含金属的前体以容易地制备具有高密度的高纯度含金属薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 化合物 用于 制备 方法 包含 沉积 薄膜 组合 | ||
【主权项】：
1.一种由以下化学式1表示的金属三胺化合物：[化学式1]![]()
其中M为M1(A1)、M2(A2)(A3)、M3(A2)(A3)(A4)、M4(＝NR')2或M4(CO)4；M1为第13族金属或镧系金属；M2为第4族过渡金属；M3为第5族过渡金属；M4为第6族过渡金属；R'为(C1‑C7)烷基；R1至R5各自独立地为氢或(C1‑C7)烷基；以及A1为(C1‑C7)烷基、NR6R7、OR8、环戊二烯基环或含环戊二烯基环的稠环；A2、A3和A4各自独立地为NR6R7、OR8、环戊二烯基环或含环戊二烯基环的稠环；A1、A2、A3和A4中的环戊二烯基环或含环戊二烯基环的稠环还可以经(C1‑C7)烷基或(C2‑C7)烯基进一步取代；R6、R7和R8各自独立地为(C1‑C7)烷基或SiR9R10R11；R9至R11各自独立地为(C1‑C7)烷基；以及m为0至2的整数。
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