[发明专利]单晶制造装置有效
| 申请号： | 201880001867.5 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN110546314B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 进藤勇;羽生真之 | 申请（专利权）人： | 株式会社水晶系统 |
| 主分类号： | C30B13/00 | 分类号： | C30B13/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡烨;董庆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于制造无晶粒边界的大型单晶，所述单晶是在垂直方向和水平方向上均为具有最佳添加物浓度的均质组成的高品质单晶。单晶制造装置，其至少具备：将一定量的粒状原料向下方供给的粒状原料供给单元，将由所述粒状原料供给单元供给的粒状原料加热并熔解而得的原料熔液向下方供给的粒状原料熔解单元，使单晶从接收用第1红外线照射装置向种晶单晶的上表面照射红外线而形成的熔液以及由所述粒状原料熔解单元供给的原料熔液而形成的混合熔液析出的结晶化单元。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 装置 | ||
【主权项】：
1.单晶制造装置，它是用粒状原料熔融单元使粒状原料熔融、将所得的原料熔液供给至形成于下方的种晶单晶的上表面的熔液中以形成混合熔液、使固体从所述混合熔液作为单晶析出以制造大型单晶的单晶制造装置，/n所述单晶制造装置至少具备：/n将一定量的粒状原料向下方供给的粒状原料供给单元，/n将加热并熔解由所述粒状原料供给单元供给的粒状原料而得的原料熔液向下方供给的粒状原料熔解单元，/n使单晶从接收用第1红外线照射装置对所述种晶单晶的上表面照射红外线而形成的熔液以及由所述粒状原料熔解单元供给的原料熔液而形成的混合熔液析出的结晶化单元。/n
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