[发明专利]单晶制造装置有效
| 申请号： | 201880001872.6 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN110546315B | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 进藤勇 | 申请（专利权）人： | 株式会社水晶系统 |
| 主分类号： | C30B13/00 | 分类号： | C30B13/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡烨;董庆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于制造无晶粒边界的大型单晶，所述单晶是在垂直方向和水平方向上均为具有最佳添加物浓度的均质组成的高品质的单晶。单晶制造装置，其至少具备：将一定量的粒状原料供给至位于下方的粒状原料熔解单元的粒状原料供给单元，将由所述粒状原料供给单元供给的粒状原料加热并熔解成原料熔液、向位于下方的单晶制造用坩埚内供给所述原料熔液的粒状原料熔解单元，具有在底部设置种晶单晶的单晶制造用坩埚、和对所述单晶制造用坩埚内的种晶单晶的上表面照射红外线的第1红外线照射装置的结晶化单元；向对所述种晶单晶的上表面照射红外线而形成的熔液中倒入由所述粒状原料熔解单元供给的原料熔液，从所形成的混合熔液析出单晶。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 装置 | ||
【主权项】：
1.单晶制造装置，它是在单晶制造用坩埚内设置种晶单晶、将粒状原料经粒状原料熔解单元熔融而得的原料熔液供给至所述单晶制造用坩埚内、在所述种晶单晶上使单晶作为固体析出以制造大型单晶的单晶制造装置，/n所述单晶制造装置至少具备：/n将一定量的所述粒状原料供给至位于下方的粒状原料熔解单元的粒状原料供给单元，/n将由所述粒状原料供给单元供给的粒状原料加热并熔解成原料熔液、向位于下方的所述单晶制造用坩埚内供给所述原料熔液的粒状原料熔解单元，/n具有在底部设置所述种晶单晶的单晶制造用坩埚、和对所述单晶制造用坩埚内的种晶单晶的上表面照射红外线的第1红外线照射装置的结晶化单元；/n向对所述种晶单晶的上表面照射红外线而形成的熔液中倒入由所述粒状原料熔解单元供给的原料熔液，从所形成的混合熔液析出单晶。/n
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