[发明专利]用于分离复合部件的不同材料层的方法和装置有效
申请号: | 201880002452.X | 申请日: | 2018-01-25 |
公开(公告)号: | CN109496365B | 公开(公告)日: | 2023-03-24 |
发明(设计)人: | H·格罗斯 | 申请(专利权)人: | L·K·格罗斯;M·E·格罗斯 |
主分类号: | H01L31/048 | 分类号: | H01L31/048;H01L31/18 |
代理公司: | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人: | 金辉 |
地址: | 德国德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于分离复合部件的不同类型材料层的方法,复合部件具有至少一个对可见光透明的材料层和至少一个另外的材料层,其中来自外部源的光穿过至少一个透明材料层落入至少一个另外的材料层并且至少部分地被吸收。在至少一个气体放电灯的帮助下,光吸收材料层加热小于一秒的时间,以分离复合部件的材料层。可用于该方法的装置包括至少一个分离室,以及位于其中的至少一个适于照射的气体放电灯(220)。 | ||
搜索关键词: | 用于 分离 复合 部件 不同 材料 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种用于分离复合部件的异质材料层的方法,所述复合部件包括至少一个对可见光透明的材料层,所述材料层具有大于40%的透明度,以及至少一个另外的材料层,其中来自外部源的光穿过所述至少一个透明材料层进入所述至少一个另外的材料层,其中所述光至少部分地被吸收,其特征在于,借助于至少一个气体放电灯提供来自外部源的光,并用于在曝光场中对另外的光吸收材料层进行小于一秒的照射和加热,其中曝光场包围所述复合部件的表面的至少一部分;其特征在于,所述曝光场中的辐射在曝光时段的一个时刻具有恒定的强度;以及其特征在于,所述另外的光吸收材料层的加热导致所述复合部件的至少两个材料层彼此分离。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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