[发明专利]铜铟镓硒吸收层及其制备方法、太阳能电池及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201880002666.7 申请日: 2018-08-01
公开(公告)号: CN110352499A 公开(公告)日: 2019-10-18
发明(设计)人: 叶亚宽 申请(专利权)人: 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
主分类号: H01L31/032 分类号: H01L31/032;H01L31/18
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 高钊;孙微
地址: 100176 北京市北京经济*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 一种铜铟镓硒吸收层的制备方法包括:在基底上依次形成铜镓合金层和铟层构成的铜铟镓预制膜。将铜铟镓预制膜放入具有第一温度阈的反应腔中。向反应腔中通入具有第一载气流量值的硒气氛,使铜铟镓预制膜在第一时长内反应,以在铜铟镓预制膜表面形成非饱和的In‑Se二元相和Cu‑Se二元相。向反应腔内通入具有第二载气流量值的硒气氛,使得表面形成有非饱和的In‑Se二元相和Cu‑Se二元相的铜铟镓预制膜在第二预设时长内反应,获得铜铟镓硒预制膜。在预设的第二温度阈和第三预设时长内对铜铟镓硒预制膜进行退火处理,获得太阳能电池吸收层。
搜索关键词: 预制膜 铜铟镓 反应腔 制备 铜铟镓硒吸收层 表面形成 铜铟镓硒 预设时长 二元相 温度阈 硒气氛 载气流 太阳能电池吸收层 太阳能电池 铜镓合金层 退火处理 放入 基底 时长 预设 铟层
【主权项】:
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