[发明专利]用于显示器制造的基板上的自动临界尺寸测量的方法、用于检查用于显示器制造的大面积基板的方法和设备和操作所述设备的方法有效
| 申请号： | 201880004163.3 | 申请日： | 2018-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN110506236B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 伯恩哈德·G·穆勒;罗伯特·特劳纳;伯恩哈德·舒勒;彼得·C·斯塔芬森;库普雷特·辛格·维尔迪;沃尔克·戴克 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01N23/2251;H01J37/22;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据一实施方式，提供一种用于显示器制造的基板上的自动临界尺寸测量的方法。所述方法包括利用带电粒子束扫描具有第一尺寸的第一视场，以取得第一影像，第一影像具有用于显示器制造的基板的第一部分的第一分辨率；确定第一影像中的图案，图案具有第一位置；利用带电粒子束扫描第二视场，以取得基板的第二部分的第二影像，第二视场具有第二尺寸并且具有第二位置，第二尺寸小于第一尺寸，第二位置相对于第一位置提供，第二影像具有第二分辨率，第二分辨率高于第一分辨率；和从第二影像确定提供于基板上的结构的临界尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 显示器 制造 基板上 自动 临界 尺寸 测量 方法 检查 大面积 设备 操作 | ||
【主权项】：
1.一种用于显示器制造的基板上的自动临界尺寸测量的方法，包括：/n利用带电粒子束扫描具有第一尺寸的第一视场，以取得第一影像，所述第一影像具有用于显示器制造的所述基板的第一部分的第一分辨率；/n确定所述第一影像中的图案，所述图案具有第一位置；/n利用所述带电粒子束扫描第二视场，以取得所述基板的第二部分的第二影像，所述第二视场具有第二尺寸并且具有第二位置，所述第二尺寸小于所述第一尺寸，所述第二位置相对于所述第一位置提供，所述第二影像具有第二分辨率，所述第二分辨率高于所述第一分辨率；和/n从所述第二影像确定提供于所述基板上的结构的临界尺寸。/n
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