[发明专利]流体控制器的异常检测装置、异常检测系统、异常检测方法及流体控制器有效
| 申请号： | 201880004412.9 | 申请日： | 2018-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN109983318B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 原田章弘;西野功二;土肥亮介;川田幸司;杉田胜幸;池田信一;山路道雄;篠原努;丹野龙太郎;河内勇人 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 龚敏;王刚 |
| 地址： | 日本国大阪府大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在流体控制器中，即使在流体的泄漏很少的情况下，也能够检测到泄漏。另外，通过利用信息通信技术，从而容易地监视位于远离的场所的流体控制器或多个流体控制器中的流体的泄漏异常。对设有流体能流通的流道(211)、通过隔离部件与流道(211)隔离的封闭空间(S)、以及能够连通封闭空间(S)与外部的泄漏端口(LP)的流体控制器(2)的异常进行检测的异常检测装置(1)具有：压力传感器(11)，其检测封闭空间(S)内的压力；处理模块，其执行给定的信息处理；以及拆装机构，其将压力传感器(11)以能够拆装的方式固定于泄漏端口(LP)，并且在固定状态下将泄漏端口(LP)与外部遮断。处理模块通过对由压力传感器(11)检测出的检测值与给定的阈值进行比较，从而判别流体控制器(2)的异常，并将流体控制器(2)的异常判别结果发送至服务器。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 控制器 异常 检测 装置 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种流体控制器的异常检测装置，其为检测流体控制器的异常的装置，所述流体控制器设置有：流道；通过隔离部件与该流道隔离的封闭空间；以及能够连通该封闭空间与外部的泄漏端口，所述流体控制器的异常检测装置的特征在于，具有：压力传感器，其检测所述封闭空间内的压力；处理模块，其执行给定的信息处理；以及拆装机构，其将所述压力传感器以能够拆装的方式固定于所述泄漏端口，并且在固定状态下将所述泄漏端口与外部遮断，所述处理模块执行判别处理和通信处理，所述判别处理通过对由所述压力传感器检测出的检测值与给定的阈值进行比较，从而判别所述流体控制器的异常，所述通信处理将所述流体控制器的异常的判别结果发送至服务器。
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