[发明专利]用于将载体夹持到装置的布置在审
| 申请号： | 201880004447.2 | 申请日： | 2018-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN110557954A | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 马蒂亚斯·赫曼尼斯;萨蒂亚穆蒂·戈文达萨米;詹斯·格伦斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/50;C23C14/56;H01L21/68;H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司： | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 提供一种用于在处理腔室中进行处理期间将载体固定或夹持到装置的布置。所述布置包括：第一夹持元件，所述第一夹持元件耦接到所述载体；和第二夹持元件，所述第二夹持元件耦接到所述装置。所述第一夹持元件和所述第二夹持元件被配置为可相对于彼此固定或夹持。所述布置进一步包括止挡元件，以用于在所述第一夹持元件和所述第二夹持元件中的一个故障时支撑所述载体。 | ||
| 搜索关键词： | 第二夹持元件 第一夹持元件 夹持 处理期间 处理腔室 载体固定 止挡元件 支撑 配置 | ||
【主权项】：
1.一种用于在处理腔室中进行处理期间将载体固定或夹持到装置的布置，所述布置包括：/n第一夹持元件，所述第一夹持元件耦接到所述载体；/n第二夹持元件，所述第二夹持元件耦接到所述装置，所述第一夹持元件和所述第二夹持元件被配置为可相对于彼此固定或夹持；和/n止挡元件，所述止挡元件用于在所述第一夹持元件和所述第二夹持元件中的一个故障时支撑所述载体。/n
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