[发明专利]工件处理系统和方法有效
| 申请号： | 201880005294.3 | 申请日： | 2018-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN110235218B | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 约翰·巴格特;比利·贝诺特 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/683;H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 刘新宇;寿宁 |
| 地址： | 美国马萨诸*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及工件处理系统和方法，包括将工件转移至真空腔室。加热夹盘配置成选择性将工件夹持至其夹持表面，其中该加热夹盘配置成选择性加热夹持表面。工件转移设备具有末端执行器，该末端执行器配置成将工件转移至加热夹盘，其中工件搁置在末端执行器上。控制器经由控制工件转移设备选择性使工件相对于加热夹盘定位，其中该控制器配置成将工件定位于距夹持表面的预定距离处，其中该预定距离大体上确定工件从加热夹盘接收的辐射量，且其中该控制器进一步配置成经由控制工件转移设备将工件放置在加热夹盘的表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 处理 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种工件处理系统，包括：真空腔室；第一腔室，所述第一腔室可操作地耦接至所述真空腔室；加热夹盘，所述加热夹盘定位于所述真空腔室内，其中，所述加热夹盘配置成选择性将工件夹持至其夹持表面，且其中，所述加热夹盘配置成选择性加热所述夹持表面；具有末端执行器的工件转移设备，所述末端执行器配置成选择性支撑工件，其中，工件搁置在所述末端执行器上，且其中，所述工件转移设备配置成选择性在所述加热夹盘与所述第一腔室之间转移工件；以及控制器，所述控制器配置成经由控制所述工件转移设备选择性使工件相对于所述加热夹盘定位，其中，所述控制器配置成将工件定位于距所述夹持表面的预定距离处，其中，所述预定距离大体上确定工件从所述加热夹盘接收的辐射量，且其中，所述控制器进一步配置成经由控制所述工件转移设备选择性将工件放置在所述加热夹盘的表面上。
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