[发明专利]用于建立具体电极位置的方法及系统

摘要

本发明涉及一种通过提供多点探针和试样来建立具体电极位置的方法。方法包括以下步骤：测量或确定多点探针的电极中的两个之间的距离；以及建立表示试样的电阻模型。方法还包括以下步骤：执行至少三个不同的薄片电阻测量；以及基于电阻模型对于不同薄片电阻测量中的每一个建立对应的预测薄片电阻。其后，方法包括以下步骤：建立构成预测薄片电阻中的每一个与其对应测量薄片电阻之间的差的一组差；以及通过使用距离并执行数据拟合，导出多点探针在试样的表面上的具体电极位置，该执行通过使构成所述一组差的和的误差函数最小化来进行。

主权项

1.一种通过提供多点探针和试样来建立具体电极位置的方法，所述多点探针具有探针主体和多个探针臂，该多个探针臂从所述主体平行延伸并且各包括一个电极，所述多个探针臂和电极分别大于四个，所述试样限定表面，所述方法包括以下步骤：将所述多点探针定位为使得所述电极与所述试样的所述表面接触；确定所述多点探针的所述电极中的两个之间的距离，优选地为所述多点探针的两个最外电极之间的距离；建立表示所述试样的电阻模型，所述电阻模型具有被包括作为未知参数的、所述多点探针相对于所述试样的所述表面的所述具体电极位置，所述电阻模型将所述试样表示为有限薄片和/或多层薄片；执行至少四个不同的电阻测量，所述电阻测量中的每一个包括：选择所述多个电极中的四个不同电极；将所述四个不同电极分成第一对电极和第二对电极；在所述第一对电极之间施加传播通过所述试样的电流；检测在所述第二对电极之间引起的电压；以及基于所述电压与所述电流的比建立所测量电阻；基于所述电阻模型对于所述不同的电阻测量中的每一个建立对应的预测电阻；建立构成所述预测电阻中的每一个与其对应的所测量电阻之间的差的一组差；以及通过使用所述距离并执行数据拟合，导出所述多点探针在所述试样的所述表面上的所述具体电极位置，通过使构成所述一组差的和的误差函数最小化来执行所述数据拟合。