[发明专利]抛光垫及其制备方法在审
| 申请号： | 201880006761.4 | 申请日： | 2018-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN110177655A | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 柳俊城;权泰庆;徐章源;尹晟勋 | 申请（专利权）人： | SKC株式会社 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00;B24B37/22;B24B37/20;B24B37/26;B24B37/04;B24B57/02;H01L21/306 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 薛琦 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种生产抛光垫的方法，该方法包括如下步骤：提供抛光层；形成穿透抛光层的第一通孔；提供面向抛光层的支撑层；在具有第一通孔的抛光层和支撑层之间插入粘接层，且通过该粘接层将抛光层和支撑层彼此粘接；以第一通孔为参考点，形成穿透粘接层在其设定区域上的第三通孔，以及形成穿透支撑层在其设定区域上的第二通孔；以及在第一通孔内部嵌入窗口。 | ||
| 搜索关键词： | 通孔 抛光层 支撑层 粘接层 穿透 抛光垫 参考点 粘接 制备 嵌入 生产 | ||
【主权项】：
1.一种制造抛光垫的方法，其包括：(a)提供抛光层；(b)形成通过所述抛光层的第一通孔；(c)提供与所述抛光层相对的支撑层；(d)在具有所述第一通孔的所述抛光层与所述支撑层之间插入粘接层，且通过所述粘接层将所述抛光层和所述支撑层彼此结合；(e)基于所述第一通孔，在所述粘接层的预定区域中形成通过所述粘接层的第三通孔，且在所述支撑层的预定区域中形成通过所述支撑层的第二通孔；以及(f)在所述第一通孔中嵌入窗口。
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