[发明专利]用于石英晶体振荡式薄膜厚度监视器的传感器头

摘要

本发明提供一种可抑制步进电机的失步和所述电极的励磁电流上升的用于石英晶体振荡式薄膜厚度监视器的传感器头。其具有：传感器头主体(1)，其配置有所述电机(Sm)；保持件(2)，其由所述电机旋转驱动且在上表面上设置有多个石英振子(Co)；以及掩膜体(3)，其设置在传感器头主体上，并覆盖保持件的上表面，且开设有朝向一个石英振子的成膜窗口(31)。其还具有：第一电极(4)，其固定在位于成膜用窗口正下方的传感器头主体的部分上；以及第二电极(5)，其分别与各石英振子导通且向保持件的下表面突出设置；当使保持件旋转到一个石英振子和成膜用窗口在上下方向上相匹配的相位时，由同种金属构成的第一电极和第二电极抵接并导通。其还具有润滑剂供给装置(4b)，其设置在保持件的旋转方向前方，向与第一电极抵接前的第二电极表面供给固体润滑剂。

主权项

1.一种用于石英晶体振荡式薄膜厚度监视器的传感器头，其具有：传感器头主体，其配置有步进电机；保持件，其由步进电机旋转驱动且在同一圆周上间隔设置有多个石英振子；以及掩膜体，以从传感器头主体朝向保持件的方向为上，所述掩膜体设置在传感器头主体上，并覆盖设置有各石英振子的保持件的上表面，且开设有朝向任意一个石英振子的成膜用窗口；所述用于石英晶体振荡式薄膜厚度监视器的传感器头还具有：第一电极，其固定在位于成膜用窗口正下方的传感器头主体的部分上；以及第二电极，其分别与各石英振子导通且向保持件的下表面突出设置；当通过步进电机使保持件旋转到任意一个石英振子和成膜用窗口在上下方向上相匹配的相位时，由同种金属构成的第一电极和第二电极抵接并导通；所述用于石英晶体振荡式薄膜厚度监视器的传感器头的特征在于：还具有润滑剂供给装置，其在任意一个第一电极与第二电极抵接前，向该第一电极和第二电极中的至少一方的表面供给固体润滑剂。