[发明专利]用于功率器件的氮化镓外延结构有效
| 申请号： | 201880007184.0 | 申请日： | 2018-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN110177905B | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 弗拉基米尔·奥德诺博柳多夫;史帝夫·莱斯特;奥兹古·阿克塔斯 | 申请（专利权）人： | 克罗米斯有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B29/68 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 景怀宇 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于在具有衬底热膨胀系数的工程化衬底上制备多层器件的方法，包括：在所述工程化衬底上生长缓冲层；和在所述缓冲层上生长第一外延层。所述第一外延层的特征是具有与所述衬底热膨胀系数实质上相同的外延热膨胀系数。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 功率 器件 氮化 外延 结构 | ||
【主权项】：
1.一种用于在具有衬底热膨胀系数的工程化衬底上制备多层器件的方法，所述方法包括：在所述工程化衬底上生长缓冲层；和在所述缓冲层上生长第一外延层，其中，所述第一外延层的特征是具有与所述衬底热膨胀系数实质上相同的外延热膨胀系数。
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