[发明专利]级联缺陷检查有效
| 申请号： | 201880007230.7 | 申请日： | 2018-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN110709887B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 陈志超;方伟 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种缺陷检查系统。根据某些实施例，该系统包括存储器，该存储器存储被实现为多个模块的指令。多个模块中的每个模块被配置为检测具有不同属性的缺陷。该系统还包括控制器，该控制器被配置为使计算机系统：接收表示晶片的图像的检查数据；将检查数据输入到多个模块中的第一模块，第一模块输出具有第一属性的第一组兴趣点(POI)；将第一组POI输入到多个模块中的第二模块，第二模块输出具有第二属性的第二组POI；以及报告第二组POI作为具有第一属性和第二属性两者的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 级联 缺陷 检查 | ||
【主权项】：
1.一种计算机系统，包括：/n存储指令的存储器，所述指令被实现为多个模块，所述多个模块中的每个模块被配置为检测具有不同属性的缺陷；以及/n控制器，所述控制器被配置为使所述计算机系统：/n接收表示晶片的图像的检查数据；/n将所述检查数据输入到所述多个模块中的第一模块，所述第一模块输出具有第一属性的第一组兴趣点(POI)；/n将所述第一组POI输入到所述多个模块中的第二模块，所述第二模块输出具有第二属性的第二组POI；以及/n报告所述第二组POI作为具有所述第一属性和所述第二属性的缺陷。/n
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