[发明专利]用于电子源的提取器电极有效
| 申请号： | 201880007432.1 | 申请日： | 2018-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN110192262B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | L·S·何登;L·葛瑞拉;N·朱邦;姜辛容;C·西尔斯;D·布;O·G·佛罗伦度;K·凯明斯 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/073 | 分类号： | H01J37/073;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提取器及提取器系统最小化与初级电子束相互作用且使所述初级电子束降级的次级电子的产生。这可改进例如扫描电子显微镜的电子束系统的性能。所述提取器可包含随着距所述电子束的源的距离的增加而变宽的截头圆锥形孔隙。到所述截头圆锥形孔隙中的入口还可包含弯曲边缘。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电子 提取 电极 | ||
【主权项】：
1.一种设备，其包括：提取器，其具有第一表面及与所述第一表面相对的第二表面，其中所述提取器具有在所述第一表面与所述第二表面之间界定截头圆锥形孔隙的侧壁，其中所述截头圆锥形孔隙从所述第一表面到所述第二表面变宽，其中所述截头圆锥形孔隙的所述侧壁以弯曲边缘与所述第一表面相交，且其中所述弯曲边缘具有从5μm到50μm的半径。
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