[发明专利]辐射窗口有效
| 申请号： | 201880007470.7 | 申请日： | 2018-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN110192124B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 尼古拉·契科罗夫 | 申请（专利权）人： | 牛津仪器技术股份公司 |
| 主分类号： | G01T7/00 | 分类号： | G01T7/00;H01J5/18 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 吴大建;何娇 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本发明的示例方面，提供了一种方法，包括：获得在第一侧面上包括掩模的第一硅晶片，在第一硅晶片的第一侧面上附着第二硅晶片，以及蚀刻晶片中的一个以部分地暴露沉积在相对的硅晶片上的窗口层，并形成由支撑窗口层的掩模限定的结构。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射 窗口 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：‑获取在第一侧面上包括掩模的第一硅晶片；‑在所述第一硅晶片的所述第一侧面上附着第二硅晶片，以及‑蚀刻其中一个硅晶片，以部分地暴露沉积在相反的硅晶片上的窗口层，并形成由支撑所述窗口层的掩模限定的结构。
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