[发明专利]用于装载端口门开启器的系统、设备及方法

摘要

实施方式提供了用于改良的装载端口的系统、设备及方法，所述装载端口是可操作的以净化受困于基板载体门与载体门开启器之间的空气。实施方式包括：对接盘，适于接收包括载体门的基板载体；门开启器，邻近所述对接盘且适于耦接至所述载体门并打开所述载体门，其中所述门开启器包括：净化气体入口端口、至少一个排气出口端口、及脊壁，所述脊壁与对接的基板载体协作以界定周边通道，其中所述脊壁包括靠近这些端口的开口，并且其中所述门开启器进一步包括转向器结构，所述转向器结构经设置以将净化气体从净化气体入口端口引导至所述脊壁中的开口中的至少一个。公开了许多额外的方面。

主权项

1.一种装载端口系统，包含：一对接盘，所述对接盘适于接收包括一载体门的一基板载体；一门开启器，所述门开启器邻近所述对接盘，且适于耦接至所述载体门并打开所述载体门，其中所述门开启器包括：一净化气体入口端口；至少一个排气出口端口，及一脊壁，所述脊壁与对接的基板载体协作以界定一周边通道，其中所述脊壁包括靠近所述端口的开口。